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真空電漿
◆ 應用:半導體,HDI,軟硬結合板等除膠以及清洗工藝
◆ 咬蝕均勻性:≥85%
◆ 電極有效尺寸:26.44英寸*15層
◆ 產出能力:24.5*21英寸15片*2/循環周期
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